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[IT뉴스][과기원NOW] UNIST, 반도체 배선 '전기 동맥경화' 뚫어낼 원료·공정 개발 外

온카뱅크관리자

2025-12-18 17:57:33

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        <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> 
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          <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="0084dd456273fda029ff5ddca72b99520e98edc0583a3b6f1ea3f8f2e26ded34" dmcf-pid="66urslRfnd" dmcf-ptype="figure">
           <p class="link_figure"><img alt="왼쪽부터 김수현 울산과학기술원(UNIST) 반도체소재부품대학원 교수, 히데아키 나카쓰보 연구원, 데바난다 모하파트라 교수, 김정하 연구원. UNIST 제공" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202512/18/dongascience/20251218174954255kngc.jpg" data-org-width="680" dmcf-mid="4qxX50DgLi" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202512/18/dongascience/20251218174954255kngc.jpg" width="658"></p>
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            왼쪽부터 김수현 울산과학기술원(UNIST) 반도체소재부품대학원 교수, 히데아키 나카쓰보 연구원, 데바난다 모하파트라 교수, 김정하 연구원. UNIST 제공
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          <p contents-hash="eb4c0b6a0501b12df2574ca0fdb4c76631cfe1f2c7feb3bf349e9378f849f803" dmcf-pid="Po8WG1Aide" dmcf-ptype="general">■ 울산과학기술원(UNIST)은 김수현 반도체소재부품대학원 교수팀이 반도체 회로 선폭이 줄어들면서 발생하는 '전기 동맥경화' 현상을 해결할 신물질과 제조 공정을 개발했다고 18일 밝혔다. 연구결과는 11월 23일(현지시간) 국제학술지 '어드밴스드 사이언스'에 공개됐다. 루테늄은 선폭이 줄어도 저항 증가가 상대적으로 완만해 차세대 배선 소재로 주목받는다. 연구팀은 고품질의 루테늄 배선을 만들 수 있는 공정을 개발했다. 특히 3차원 낸드(NAND)처럼 좁고 싶은 구조의 반도체 구조에 박막을 균일하게 입힐 수 있을 것으로 기대된다. 공정비용과 시간도 기존보다 줄일 수 있다. 김 교수는 "반도체 소자의 고집적화로 배선 공정의 난이도가 기하급수적으로 높아지는 상황에서 미세 선폭의 저항 감소와 3D 구조의 증착 균일성, 빠른 증착 속도를 동시에 확보했다"고 밝혔다.</p>
          <p contents-hash="8ccff482bd3f462b8fdb8d8c88fd92f1bf02dc77856878c86a9fc46f9d20fa44" dmcf-pid="Qg6YHtcniR" dmcf-ptype="general"> ■ UNIST는 세계적인 미디어 아티스트 김아영 작가를 인공지능대학원 특임교수로 임용했다고 18일 밝혔다. 임용 기간은 2028년 12월까지 3년이다 김 교수는 가상현실(VR)과 인공지능을 활용한 미디어아트 작업으로 국제 무대에서 주목받았다. 기술이 인간 인식과 사회 구조에 미치는 영향을 작품으로 풀어냈다. 김 교수는 UNIST 인공지능 연구진과 공동 프로젝트를 진행한다. 기술 연구 과정에 예술적 관점을 더하고, 인공지능 결과를 새로운 방식으로 해석하는 역할을 맡는다. 과학·예술 융합 분야 자문과 교내 특강도 병행한다. 박종래 UNIST 총장은 "과학과 예술을 잇는 접근이 인공지능 연구와 교육의 깊이를 키울 것"이라고 말했다.</p>
          <p contents-hash="672e898ff3a68bb712a869d0de8a5eec4a631ab0dccd274aa0f7d64c51dd63b7" dmcf-pid="xaPGXFkLRM" dmcf-ptype="general"> ■ 대구경북과학기술원(DGIST)은 이병문 전기전자컴퓨터공학과 교수와 김찬연 에너지공학과 교수가 '삼성미래기술육성사업' 2025년 하반기 과제에 선정돼 12월부터 관련 연구를 수행한다고 18일 밝혔다.해당 사업은 삼성전자가 2013년부터 총 1조5000억 원을 출연해 운영 중인 과학기술 연구지원 프로그램이다. 올해 하반기에는 DGIST와 KAIST, UNIST, 서울대 등 총 17개 연구팀이 선정됐다. 이 교수는 '초몰입 확장현실을 위한 초고속·고정밀 피부통합형 제스처 인식 인터페이스 개발'을 주제로 연구를 수행한다. 향후 4년간 총 16억 원의 연구비를 지원받는다. 김 교수는 '탄소중립 대응형 이산화탄소-불화수소 기반 HFE 냉매 합성' 연구를 수행하며 향후 4년간 총 10억원의 연구비를 지원받는다.</p>
          <p contents-hash="a83bbeb455ff112c7c678e3f1f3c7e84accd2ebb6521c83639f686ced7f41c09" dmcf-pid="y3veJg71Mx" dmcf-ptype="general"> &lt;참고 자료&gt;<br> - doi.org/10.1002/advs.202519209</p>
          <p contents-hash="45bb5fc594678577f29529133ca3f119fecafefe6e22c38bd577aafe468a7e4b" dmcf-pid="W0TdiaztiQ" dmcf-ptype="general">[이병구 기자 2bottle9@donga.com]</p>
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        <p class="" data-translation="true">Copyright © 동아사이언스. 무단전재 및 재배포 금지.</p>

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