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[IT뉴스]UNIST "저온에서 원자층 두께 박막 입히는 반도체 기술 개발"
온카뱅크관리자
조회:
42
2024-05-02 16:12:08
<div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">유기금속화학기상증착법 기반 공정법 고안…"다양한 전자 소자에 응용"</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="yP7MB5Cn00"> <figure class="figure_frm origin_fig" dmcf-pid="WAMEd2FOp3" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="UNIST 서준기 교수팀 윗줄 왼쪽부터 고경민 연구원, 공동 제1저자 이욱희 연구원, 조한빈 연구원, 아랫줄 왼쪽부터 서준기 교수, 제1저자 김성연 연구원. [울산과학기술원 제공. 재판매 및 DB 금지]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202405/02/yonhap/20240502161209066vajw.jpg" data-org-width="1200" dmcf-mid="x2JmL8Ul3p" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202405/02/yonhap/20240502161209066vajw.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> UNIST 서준기 교수팀 윗줄 왼쪽부터 고경민 연구원, 공동 제1저자 이욱희 연구원, 조한빈 연구원, 아랫줄 왼쪽부터 서준기 교수, 제1저자 김성연 연구원. [울산과학기술원 제공. 재판매 및 DB 금지] </figcaption> </figure> <p dmcf-pid="YcRDJV3I3F" dmcf-ptype="general">(울산=연합뉴스) 김용태 기자 = 낮은 온도에서 원자층 두께의 막을 균일하고 안정적으로 입힐 수 있는 반도체 소재 공정 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.</p> <p dmcf-pid="Gkewif0CUt" dmcf-ptype="general">2일 울산과학기술원(UNIST)에 따르면 반도체 소재·부품 대학원 및 신소재공학과 서준기 교수팀은 정창욱 교수팀, 중국과학원 선전선진기술연구원 펑 딩(Feng Ding) 교수, 세종대 김성규 교수와 함께 유기금속화학기상증착법을 활용해 200도의 저온에서 얇은 막을 웨이퍼 단위의 대면적에 증착시킬 수 있는 박막 증착 공정법을 개발했다.</p> <p dmcf-pid="HlATEJ2X01" dmcf-ptype="general">유기금속화학기상증착법은 화학 반응에 참여하는 기체상의 전구체를 활용해 정밀성이 높은 차세대 공정법이다.</p> <p dmcf-pid="XScyDiVZu5" dmcf-ptype="general">반도체의 재료가 되는 웨이퍼 정도의 면적에도 박막을 증착시킬 수 있지만, 반응물을 합성시키기 위해서는 650도 이상의 높은 온도로 리간드를 분해해야 했다.</p> <p dmcf-pid="ZvkWwnf5UZ" dmcf-ptype="general">연구팀은 이 같은 한계를 극복하고자 2종의 주석 셀레나이드계 물질에 유기금속화학기상증착법을 적용했다.</p> <p dmcf-pid="5nfg67GkzX" dmcf-ptype="general">연구팀은 주석 셀레나이드 박막을 낮은 온도로 증착시키기 위해 리간드가 분해되는 온도 구간과 박막이 증착되는 온도 구간을 물리적으로 분리했다.</p> <p dmcf-pid="1L4aPzHE7H" dmcf-ptype="general">증착법에 사용된 주석과 셀레늄 전구체의 비율을 조절하고, 전구체를 운반하는 아르곤 가스의 유량도 정밀 조절했다.</p> <p dmcf-pid="to8NQqXDUG" dmcf-ptype="general">연구팀이 개발한 공정을 웨이퍼 전체에 적용한 결과 2종의 박막 모두 화학적으로 변하지 않고, 높은 결정성을 보인 것으로 나타났다.</p> <p dmcf-pid="FAMEd2FOzY" dmcf-ptype="general">또 원자층 수준의 두께 조절과 균일한 증착도 가능했다고 연구팀은 설명했다.</p> <p dmcf-pid="3cRDJV3IFW" dmcf-ptype="general">제1저자 김성연 연구원은 "이번 연구를 통해 기존 유기금속화학기상증착법의 한계를 극복했다"며 "향후 주석 셀레나이드 박막 소재 연구뿐만 아니라 다양한 전자 소자에 응용이 가능할 것"이라고 말했다.</p> <p dmcf-pid="0kewif0C3y" dmcf-ptype="general">서준기 교수는 "차세대 반도체 소재 맞춤형 공정 개발에 성공했다는 점에서 전자 소자 응용 연구를 가속할 것으로 기대한다"이라고 덧붙였다.</p> <p dmcf-pid="pAMEd2FOpT" dmcf-ptype="general">연구 결과는 나노 과학 분야 국제 학술지 '어드밴스드 머티리얼스'(Advanced Materials)에 지난달 10일 온라인으로 게재됐다.</p> <p dmcf-pid="UcRDJV3I3v" dmcf-ptype="general">연구는 과학기술정보통신부 한국연구재단 우수신진연구사업 및 차세대지능형반도체기술개발사업과 UNIST의 지원을 받았다.</p> <p dmcf-pid="ukewif0C3S" dmcf-ptype="general">yongtae@yna.co.kr</p> <p dmcf-pid="zsoCNxqyph" dmcf-ptype="general">▶제보는 카톡 okjebo</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 연합뉴스. 무단전재 -재배포, AI 학습 및 활용 금지</p>
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